【行業(yè)新聞】高端激光干涉測量儀器在我國成功研發(fā)
標(biāo)題：高端激光干涉測量儀器在我國成功研發(fā)
針對光刻機(jī)等嚴(yán)苛丈量環(huán)境中完成多自由度干與丈量的需求，我們提出了根據(jù)棱鏡誤差矢量剖析的單體集成多軸干與儀組件設(shè)計(jì)方法，研制出從2軸到5軸的系列化單體式多軸干與儀組件，打破了國外企業(yè)的壟斷和對我國的出口約束?！?日，清華大學(xué)長聘教授、精細(xì)儀器系學(xué)術(shù)委員會(huì)主任李巖告知記者。
激光干涉測量是完成超精細(xì)測控和微納尺度丈量的最有效手法之一。在國家嚴(yán)重科技專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制作裝備及成套工藝”（02專項(xiàng)）等項(xiàng)目支持下，由李巖等完成的“高測速多軸高分辨率激光干與丈量技能與儀器”項(xiàng)目，打破一系列關(guān)鍵技能瓶頸，形成了丈量新方法、體系及儀器。
李巖介紹，項(xiàng)目完成了從干與儀組件、信號(hào)探測解調(diào)到多自由度探測方案設(shè)計(jì)的全鏈條自研開發(fā)的高測速、多軸大量程、高分辨率激光干涉測量體系。
截至現(xiàn)在，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)所研制的光刻機(jī)用雙頻激光干涉儀體系，使用到我國自研光刻機(jī)工件臺(tái)樣機(jī)研制過程中，累計(jì)使用50余臺(tái)套，滿足了光刻機(jī)雙工件臺(tái)樣機(jī)的精細(xì)丈量需求，減輕了對國外高端干涉儀的依賴，降低了其產(chǎn)品對我國出口約束所形成的研制風(fēng)險(xiǎn)。
李巖說，比方項(xiàng)目開發(fā)的亞納米分辨率可溯源外差干與儀，使用到激光多維丈量體系研討與開發(fā)的比對檢定研討中，找出了激光多維丈量體系非線性誤差原因，并用專門的電路加以校對，提高了相關(guān)單位激光多維丈量體系的功能，所提出的可溯源干與丈量新方法，為摩爾單位選用阿伏伽德羅常數(shù)重新界說作出了奉獻(xiàn)。
“項(xiàng)目的成功，打破了外國對我國高端激光干與丈量儀器的約束和壟斷，為我國高端裝備和儀器研制供給功能穩(wěn)定且不受制于外國的丈量及溯源能力，豐富了激光干涉測量理論與技能，具有非常重要的技能、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益?！崩顜r說。
來源：新華網(wǎng)
