快速真空退火爐應用領(lǐng)域、系統(tǒng)組成及操作規(guī)程注意事項
快速真空退火爐的應用領(lǐng)域有離子注入/接觸退火；快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環(huán)境下使用；SiAu, SiAl, SiMo合金化；低介電材料；晶體化，致密化；太陽能電池片鍵合；電阻燒結(jié)其他熱工藝需求等等...
快速真空退火爐的系統(tǒng)組成：
1.快速退火爐主要由爐體、爐膽、爐蓋及抽真空裝置和溫控系統(tǒng)組成。
2.爐體外殼由型鋼及鋼板焊接而成，內(nèi)用硅酸鋁耐火纖維模塊、超輕質(zhì)高鋁泡沫磚砌筑成爐膛。
3.波紋帶狀加熱元件通過高鋁瓷釘固定于爐襯棉上。
4.爐膛內(nèi)有一耐熱板密焊而成的爐膽，被處理工件安放在爐膽內(nèi)。
5.在爐蓋上裝有通風機，用來強制氣流循環(huán)，以使爐內(nèi)溫度和氣體均勻。
6.爐蓋與爐膽口法蘭密封連接，爐蓋上連接真空裝置。
7.溫控系統(tǒng)采用PID可編程控制，具有超溫報警，故障自診斷等功能。
快速真空退火爐的操作規(guī)程及注意事項：
1. 爐子首次使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2. 爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。
3. 冷爐使用時，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
5. 爐子使用過一段時間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6. 爐子在工作過程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動過大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設置是否準確。
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