日立掃描電鏡使用范圍及結(jié)構(gòu)組成
日立掃描電鏡使用范圍及結(jié)構(gòu)組成
日立掃描電鏡被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、資料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究范疇和工業(yè)部門。制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)規(guī)模寬、圖畫的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等，關(guān)于導(dǎo)電資料，可直接放入樣品室進(jìn)行剖析，關(guān)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需求噴鍍導(dǎo)電層。
電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等，首要用于發(fā)生一束能量散布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。電磁透鏡：熱發(fā)射電子需求電磁透鏡來成束，所以在用熱發(fā)射電子槍的掃描電鏡上，電磁透鏡必不可少。通常會(huì)裝配兩組：會(huì)聚透鏡和物鏡，會(huì)聚透鏡只是用于會(huì)聚電子束，與成象會(huì)焦無關(guān)；物鏡負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)會(huì)聚到樣品外表。掃描線圈的作用是使電子束偏轉(zhuǎn)，并在樣品外表作有規(guī)則的掃動(dòng)，電子束在樣品上的掃描動(dòng)作和顯像管上的掃描動(dòng)作堅(jiān)持嚴(yán)格同步，因?yàn)樗鼈兪怯赏粧呙璋l(fā)生器控制的。
掃描電子顯微鏡是使用資料外表微區(qū)的特征（如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等）的差異，在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域發(fā)生不同的亮度差異，然后取得具有一定襯度的圖畫。成像信號(hào)是二次電子、背散射電子或吸收電子，其間二次電子是zui首要的成像信號(hào)。其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品外表，激發(fā)出樣品外表的各種物理信號(hào)，再使用不同的信號(hào)探測器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖畫信息。
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