• 儀器無憂網(wǎng)首頁

二手電子顯微鏡,二手FIB

  • 價(jià)格 面議
    6136

    人次瀏覽

  • 產(chǎn)品品牌其它
  • 地      點(diǎn) 昌平區(qū)
  • 儀器種類 電鏡設(shè)備
  • 儀器狀態(tài)無故障正常運(yùn)行
  • 儀器來源企業(yè)
  • 貨      號(hào) CCC1640830631741
  • 產(chǎn)品庫存100
數(shù)量
- +
  • 商品名稱:二手電子顯微鏡,二手FIB
  • 上架時(shí)間:2021-12-31 10:33:51
  • 儀器種類: 電鏡設(shè)備
  • 價(jià)格區(qū)間:50萬以上
  • 年限:1年內(nèi)
  • 儀器狀態(tài):無故障正常運(yùn)行
  • 儀器來源:企業(yè)
暫無評(píng)價(jià)...

聚焦離子束顯微鏡FIB主要用途: 芯片的電路修補(bǔ)、斷面切割、透射電鏡樣品制備。


聚焦離子束顯微鏡FIB應(yīng)用范圍:

1.定點(diǎn)切割 

2.穿透式電子顯微鏡試片 

3.IC線路修補(bǔ)和布局驗(yàn)證 

4.制程上異常觀察分析 

5.晶相特性觀察分析 

6.故障位置定位用被動(dòng)電壓反差分析。


在各類應(yīng)用中,以線路修補(bǔ)和布局驗(yàn)證這一類的工作有很大經(jīng)濟(jì)效益,局部的線路修改可省略重作光罩和初次試作的研發(fā)成本,這樣的運(yùn)作模式對(duì)縮短研發(fā)到量產(chǎn)的時(shí)程絕對(duì)有效,同時(shí)節(jié)省大量研發(fā)費(fèi)用。在各類應(yīng)用中,以線路修補(bǔ)和布局驗(yàn)證這一類的工作有很大經(jīng)濟(jì)效益,局部的線路修改可省略重作光罩和初次試作的研發(fā)成本,這樣的運(yùn)作模式對(duì)縮短研發(fā)到量產(chǎn)的時(shí)程絕對(duì)有效,同時(shí)節(jié)省大量研發(fā)費(fèi)用。封裝后的芯片,經(jīng)測(cè)試需將兩條線路連接進(jìn)行功能測(cè)試,此時(shí)可利用聚焦離子束系統(tǒng)將器件上層的鈍化層打開,露出需要連接的兩個(gè)金屬導(dǎo)線,利用離子束沉積Pt材料,從而將兩條導(dǎo)線連接在一起,由此可大大縮短芯片的開發(fā)時(shí)間。

這也是芯片解密常用到手法。 

利用聚焦離子束進(jìn)行線路修改,(A)、(B)將欲連接線路上的鈍化層打開,(C) 沉積Pt材料將兩個(gè)線路連接起來。


芯片線路修改:

其實(shí)FIB被應(yīng)用于修改芯片線路只是其功能之一,這里介紹一下另幾個(gè)功能:樣品原位加工 可以想象,聚焦離子束就像一把尖端只有數(shù)十納米的手術(shù)刀。離子束在靶材表面產(chǎn)生的二次電子成像有納米級(jí)別的顯微分辨能力,所以聚焦離子束系統(tǒng)相當(dāng)于一個(gè)可以在高倍顯微鏡下操作的微加工臺(tái),它可以用來在任何一個(gè)部位濺射剝離或沉積材料。圖1是使用聚焦離子束系統(tǒng)篆刻的數(shù)字;圖2則是在一個(gè)納米帶上加工的陣列孔;圖3是為加工的橫向存儲(chǔ)器單元陣列。


剖面制備觀察 微電子、半導(dǎo)體以及各型功能器件領(lǐng)域中,由于涉及工藝較多且繁雜。一款器件的開發(fā)測(cè)試中總會(huì)遇到實(shí)際結(jié)果與設(shè)計(jì)指標(biāo)的偏差,器件測(cè)試后的失效,邏輯功能的異常等等,對(duì)于上述問題的直觀可靠的分析就是制備相應(yīng)的器件剖面,從物理層次直觀的表征造成器件異常的原因。


電鏡:

透射(TEM)制樣 無論是透射電鏡還是掃描透射電鏡樣品都需要制備非常薄的樣品,以便電子能夠穿透樣品,形成電子衍射圖像。傳統(tǒng)的制備TEM樣品的方法是機(jī)械切片研磨,用這種方法只能分析大面積樣品。采用聚焦離子束則可以對(duì)樣品的某一局部切片進(jìn)行觀察。與切割橫截面的方法一樣,制作TEM樣品是利用聚焦離子束從前后兩個(gè)方向加工,最后在中間留下一個(gè)薄的區(qū)域作為TEM觀察的樣品。下圖所示為TEM制樣的工藝過程。

北京華納微科技有限公司

聯(lián)系賣家:李梅雪

交易榮譽(yù):一噸象

服務(wù)商等級(jí):普通會(huì)員

所在地區(qū):北京市昌平區(qū)北清路1號(hào)珠江摩爾國(guó)際中心6號(hào)樓1單元1105

為您提供全面的服務(wù)渠道

在線客服

立即咨詢

郵件服務(wù)

service@isa1751.com

微信公眾號(hào):儀器無憂網(wǎng)

掃二維碼關(guān)注

官方微博

立即關(guān)注
版權(quán)所有 ? 2014-2017 廣州市東藤信息科技有限公司 儀器無憂網(wǎng)  isa1751.com 未經(jīng)許可不得復(fù)制、轉(zhuǎn)載或摘編,違者必究! 網(wǎng)站備案許可證號(hào):粵ICP備14080123號(hào)
APP
下載
QQ
咨詢
投訴
建議