主要特點(diǎn)
納米劃痕測試儀帶有載荷傳感器，采用雙懸臂梁用于施加載荷，以及壓電式驅(qū)動(dòng)器用于對施加的載荷快速響應(yīng)。這一設(shè)計(jì)理念還修正了在劃痕過程中發(fā)生的任何事件（例如出現(xiàn)裂紋和故障、缺陷或樣品不平整）而導(dǎo)致的測量結(jié)果偏差。
在劃痕之前、過程和之后，位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過程中或之后評估針尖的位移量，從而可以評估材料的彈性、塑性和粘彈性能（專利：US 6520004)
閉環(huán)主動(dòng)力反饋系統(tǒng)可在 1 μN(yùn) 以下進(jìn)行更精確的納米劃痕測試。納米劃痕測試儀包含一個(gè) 傳感器測量載荷，可以直接反饋給法向載荷驅(qū)動(dòng)器。這確保施加的載荷就是用戶設(shè)置的載荷。
集成顯微鏡包括配置高質(zhì)量物鏡的轉(zhuǎn)塔和 USB 照相機(jī)。劃痕成像時(shí)，能輕松將放大倍數(shù)從 x200 轉(zhuǎn)換為 x4000，實(shí)現(xiàn)在低放大倍數(shù)和高放大倍數(shù)自由切換從而更好地對樣品進(jìn)行評估?！案櫨劢埂惫δ芸梢赃M(jìn)行將多個(gè)劃痕的 Z 樣品臺自動(dòng)聚焦到正確位置。
劃痕后，您可以在軟件中用時(shí)間增量定義無限次后掃描測量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時(shí)間的依賴關(guān)系。
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