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規(guī)格參數(shù):
儀器的基本信息:
儀器名稱:掃描電子顯微鏡
英文名:Scanning Electron Microscope
型號(hào):Hitachi S-3400N
產(chǎn)地:日本
購(gòu)買(mǎi)時(shí)間:2013年 2月
2.儀器的用途: Hitachi S—3400N型掃描電子顯微鏡,主要用于對(duì)材料的微觀形貌、組織和成分進(jìn)行有效分析。
3.儀器的性能指標(biāo):
1)分辨率 二次電子探頭:≤3.0 nm(在30kV,高真空模式),≤10 nm(在3 kV,高真空模式);被散射探頭:≤4.0 nm(在30kV,低真空模式)。
2)加速電壓:0.3kV~30kV連續(xù)可調(diào)。
3)放大倍數(shù):最低倍率5倍,最高倍率300,000倍。
4)真空系統(tǒng) ①具有低真空功能,高低真空切換,不需要安裝壓差光闌; ②真空度:高真空不低于0.1 mPa;低真空(壓力范圍):10 Pa—270 Pa;
5)電子光學(xué)系統(tǒng) ①電子槍:鎢燈絲,具有自動(dòng)偏壓+4級(jí)偏壓功能; ②聚光鏡光闌完全安裝在長(zhǎng)內(nèi)襯管內(nèi),可自行更換聚光鏡光闌。
6)樣品室和樣品臺(tái) ①樣品臺(tái)尺寸:裝載直徑≥200 mm樣品; ②樣品臺(tái)(五軸樣品臺(tái),2軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)功能); ③ 行程:X=100 mm;Y=50 mm;Z=50 mm;R=3600;T=-20~+900;
7)探測(cè)器及成像系統(tǒng) ① 二次電子探測(cè)器:二次電子像;高靈敏5分割背散射電子探測(cè)器:成分像、形貌像和三維像; ②成像模式:同時(shí)得到二次電子像,背散射電子像,兩種圖像混合像;
4.結(jié)果展示: